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N2等离子体预处理和RF溅射AlxNyfilm涂层对基于GaAs的LD的表面钝化

上传者: 2021-04-25 12:49:50上传 PDF文件 340.38KB 热度 13次
N2等离子体预处理和RF溅射AlxNyfilm涂层对基于GaAs的LD的表面钝化
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