激光/喷流法获得创记录的涂敷速度 上传者：蓝天白云29839 2021-04-24 15:55:17上传 PDF文件 1.22MB 热度 11次 国际商业机器公司瓦特森研究中心的一个小组,通过把强激光束沿电镀溶液的独立式喷嘴指向的方法,已使金膜以每秒10微米左右的速率沉积,这是迄今报导的最快沉积速率。这种技术似乎十分有希望应用于诸如微电子学制造中可能需要的金属膜无掩摸图案仿制中。 下载地址 用户评论 更多下载
