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分析光学薄膜的椭偏方程的计算方法

上传者: 2021-04-22 11:09:37上传 PDF文件 4.13MB 热度 10次
叙述了用测量到的椭偏角ψ及Δ来确定光学薄膜的折射率、厚度和消光系数的方法.该方法收敛较快并节省时间.
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