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用激光进行超精密测量

上传者: 2021-04-22 01:52:57上传 PDF文件 602.01KB 热度 19次
据日立中心研究实验室报告,用激光可以测量小到0.0001微米的尺寸差,测量装置比现有系统更小、耗电更省。
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