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射频溅射掺氮TiO

上传者: 2021-04-22 00:07:33上传 PDF文件 1.7MB 热度 19次
二氧化钛薄膜材料具有较好的光致催化和亲水特性,但其对可见光低的利用率极大地限制了应用。通过非金属掺杂可以有效提高其光催化性能。采用射频磁控溅射法,以Ar/N2为工作气体,在石英衬底上制备出了掺氮TiO
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