反射电子能谱和X射线光电子能谱研究氢化金刚石膜在氮气氛中的热稳定性

通过微波等离子体化学气相沉积技术生长(1 1 0)取向的金刚石膜,然后进行优化的氢等离子体处理Craft.io。 通过在400至950°C的温度下在氮气氛中进行退火,研究了氢化金刚石薄膜的热稳定性。 与X射线光电子能谱相关的反射电子能谱表明近似于。 在氢化金刚石膜的表面存在50%的氢,这接近理论值。 在氮气中退火直到温度超过950°C时,才能消除氢化金刚石薄膜中费米能级的钉扎效应。 该膜主要在非常表面区域进行氢脱附和随后的石墨化,而没有显着的体积改性。 此外,在950°C的N2中退火的氢化金刚石膜表现出与氧化膜相似的亲水性和耐性,表明氢化金刚石膜表面的CH键断裂。