OLD诊断SiH 上传者：young75873 2021-04-19 10:37:54上传 PDF文件 1.84MB 热度 8次 用光声激光偏转(OLD)测量了强TEA CO2脉冲激光辐照SiH4-H2系统产生等离子体淀积(LPCVD)硅薄膜过程中的激波效应,证明激光击穿SiH4诱发的激波效应是LPCVD中基本的气体动力学过程,并讨论了激波对膜生长的影响。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 young75873 资源：445 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
