电磁激发氮化硅束共振加速度计

提出了一种基于MEMS体硅技术的新型高对称结构共振微束加速度计,并给出了该方案的一些数值模拟结果。 加速度计包括两个质量块,四个支撑铰链,两个锚和一个振动三重梁,该梁在两端都被夹持在两个质量块上。 选择LPCVD富硅氮化物作为共振三束材料,并且对三束结构进行了参数优化。 三重光束被位于光束上表面的薄膜电极激发和电磁感应。 仿真和实验结果均表明,该新型结构增加了共振加速度计的比例因子,并改善了其他性能问题,例如不灵敏的输入加速度的横轴灵敏度等。