半导体光电探测器响应度测试装置的研制
分析了半导体光电探测器光谱响应度的测试原理;研制了一套波长为0.4~1.1μm的光谱响应度测试装置。该装置采用双光路替代法,可以测试绝对光谱响应度、相对光谱响应度和量子效率,并可减小光源不稳定性对测试结果的影响,最终给出了测试结果比对。
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