溶胶凝胶法和IBED法制备钽酸锂红外探测器的介电性能比较

制备了新型非冷却钽酸锂薄膜红外探测器样品通过Sol-Gel和IBED方法。 结晶度,显微照片,介电性能和电流通过XRD,SEM,阻抗分析仪和铁电材料分析仪。 实验结果表明IBED和Sol-Gel锂钽酸盐薄膜具有完美的横截面显微照片。 Sol-Gel方法很容易控制所制备膜中钽酸锂的化学计量比。 IBED方法只有使用正确比例的靶标,才能获得完美的薄膜。 IBED样品在550°C在100 kHz时的介电常数为39.44,介电损耗为0.045,电流为在400 kV / cm的测试场中,漏电为4.76×10–8A / cm2,击穿场高达680 kV / cm。 但是Sol-Gel样品的介电损耗和电流泄漏比IBED的大样品。 这意味着IBED过程更好地准备了新颖的探测器。