熔融硅中三维微线圈阵列的高级集成

在“芯片实验室”平台上快速,轻松地创建三维(3D)微线圈阵列是微加工中的一大挑战。 在这里,我们报告了一种基于改进的飞秒激光湿法蚀刻(FLWE)技术和金属微固化Craft.io的方法,用于在熔融石英内部制造3D微线圈阵列。 基于这种方法,我们制造了3×3O形微线圈阵列和4×4线性微线圈阵列等微线圈阵列。通过注入高熔点合金,微线圈阵列的电路几乎不能断开。 微线圈阵列还表现出良好的一致性和高集成度,显示出作为实际应用设备的局限性。