ICP氟等离子体处理增强型AlGaN / GaN纳米线沟道高电子迁移率晶体管

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ICP氟等离子体处理增强型AlGaN GaN纳米线沟道高电子迁移率晶体管

ICP氟等离子体处理增强型AlGaN / GaN纳米线沟道高电子迁移率晶体管

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