纳秒激光刻蚀复合材料基金属薄膜机制研究

通过分析激光脉冲作用于金属薄膜后的能量吸收及演化过程,提出了金属薄膜/复合材料组合体系在纳秒级脉冲激光作用下,因复合材料易气化的特性而存在的特有的薄膜/基底界面分离现象。提出利用这一特有的界面分离过程,可通过控制激光能量密度实现对这种结构体系的高精度、无损伤的刻蚀。利用波前衍射变换技术整形过的刻蚀激光进行了验证实验,实验结果证实了这一方法的可行性。