用准分子激光诱导湿刻实现对GaAs的图形转换 上传者:50690bobo 2021-04-08 06:48:05上传 PDF文件 1.75MB 热度 13次 本文报告的是利用准分子激光诱导湿刻和光刻技术相结合的方法,实现了对GaAs的图形转换。发现由GaAs表面的金膜、水溶液和GaAs构成的系统中,金膜不仅起了光掩蔽的作用,而且还起了促进刻蚀作用。结果说明这是一个电化学光电池结构。 下载地址 用户评论 更多下载