等离子体辅助石墨烯薄膜的生长和氮掺杂

微波等离子体用于使用固态碳源聚甲基丙烯酸甲酯在铜箔上合成单层或双层石墨烯片。 与常规热化学气相沉积Craft.io相比,React性等离子体的利用使得石墨烯能够在降低的温度下生长。 基于拉曼分析研究了衬底温度对石墨烯质量的影响,并观察到高温下缺陷的减少。 此外,证明了在氮气/氢气混合物中通过等离子体处理将氮掺入石墨烯的简便方法,并且已验证大多数氮原子在碳网络中为吡啶样。