用于最大振荡频率最高的石墨烯晶体管的超净自对准Craft.io

由于其极高的载流子迁移率,石墨烯晶体管作为高频电子器件具有巨大的应用潜力。 据报道,本征截止频率为427 GHz。 但是最大振荡频率(f(max))仍然很低,限制了它在实际射频(RF)电路中的使用。 在这里,我们报道了一种通过在石墨烯上预先沉积金膜作为保护层的超清洁自对准石墨烯晶体管的制造方法。 这种改进的自对准制造Craft.io使石墨烯免受任何可能的污染,这使我们的石墨烯晶体管显示出良好的栅极耦合和较少的寄生效应,因此具有良好的dc和RF性能。 100 nm栅极长度的石墨烯晶体管表现出105 GHz的af(max)。 我们的研究显示了制造高性能石墨烯晶体管的途径,以供将来在RF电路中应用。 (C)2014 Elsevier Ltd.保留所有权利。