非球面纯相位计算机生成全息图的误差校正

当将仅相位的计算机生成的全息图(CGH)用作计算机生成的全息图中用于非球面表面测试的光学测量的标准模型时,它具有简化光路配置和提高入射光的衍射效率的优势。 然而,在制造多相电平CGH的编码过程中总是存在误差,并且这种误差将在测量中逐级放大。 根据对编码误差的分析,CGH的误差随着量化周期的增加而线性增加。 例如,如果量化周期为32,则最大编码误差为16.46,这可能导致具有512 x 512个采样像素的次级抛物面的波前像差为0.085 lambda。 本文采用了基于最小边界值偏差的优化方法来消除CGH的编码误差。 在实验中,我们使用液晶空间光调制器来生成CGH,并测量次级抛物面的重构波阵面的残差。 测量结果表明,当残差的周期范围为3到6时,残差RMS值的平均降低值为0.07λ,这表明优化方法是有效的。