在用于3D微光学系统的玻璃基板上制造高集成度微透镜阵列

微透镜阵列已被开发为集成微光学系统中的基本元件。 然而,在硬质材料上快速制造高集成度,高填充因子和多层微透镜阵列仍然具有挑战性。在此,提出了设计简便的高集成度双面凹面微透镜阵列。这些凹面微透镜阵列在双面玻璃基板上拥有近5000个密排微透镜,这是由飞秒激光湿法蚀刻Craft.io制成的。 研究了集成微透镜阵列的光学性质,该阵列表现出新颖的多样的成像图案,例如同轴嵌套的矩形,同轴嵌套的六角形,非同轴嵌套的六角形成像图案等。此外,可以形成多样的成像图案。通过控制微透镜的形状,大小以及双面玻璃芯片上微透镜阵列的排列,可以轻松实现。