基于双面凹面微透镜的高性能激光均质机

随着其在微光学器件和系统中的应用,微透镜阵列(MLA)引起了越来越多的兴趣。 在这封信中,我们提出了一种将旋转位移MLA应用于激光均质系统的新方法。 这些是不规则阵列,由两侧具有特定旋转角度的密堆积凹面MLA组成。 并且,使用单脉冲飞秒激光辅助化学湿法刻蚀成功地制造了具有新设计参数的双面MLA扩散器。 仿真和实验结果表明,双面MLA具有良好的均质性能。 另外,我们制造了具有不同旋转角度(θ)的漫射器,并且当θ= 60度时,漫射器获得了最佳的光学性能。