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波面功率谱密度中频波段的干涉测试研究

上传者: 2021-04-04 16:12:04上传 PDF文件 999.99KB 热度 9次
讨论了干涉测试表面功率谱密度(PSD)的移相式数字波面干涉仪需注意的问题,即如何保持严格相干性;引起波面测量误差的干涉场杂纹消除的原理和方法;干涉仪频响特性的标定等。
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