基于最小二乘迭代的随机移相面形检测技术研究

在移相干涉中,由于系统或者环境的原因会产生移相误差,进而导致面形检测产生误差。介绍了最小二乘迭代随机移相算法的基本原理,通过模拟仿真,高精度地迭代出原始面形。针对随机移相可能引起迭代得到的面形与真实面形相反的现象,理论上分析了其产生的原因。提出在最小二乘迭代随机移相算法中,需要已知移相方向才能准确迭代出真实面形,通过实验进一步证实结论的正确性。给出了干涉仪移相方向标定的可行方法。