使用微机电系统镜和f theta透镜的高速扫描光纤外差干涉仪 上传者：jyh47614 2021-03-29 02:38:13上传 PDF文件 453.89KB 热度 17次 本文介绍了一种使用微机电系统(MEMS)镜和f-theta透镜的新型光纤耦合外差干涉仪。 在该干涉仪系统中,通过两个声光调制器(AOM)引入了以2 mm的频率工作,频率差为100 kHz的交叉偏振激光束。 借助组合的光学扫描配置,MEMS反射镜和f-theta透镜,用1mm激光束均匀扫描直径300mm的样品。 来自两个通道(参考通道和测量通道)的输出中间信号在12位模数(A / D)处理系统中进行处理。 讨论了我们的干涉仪方案的细节。 #2011日本应用物理学会 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 jyh47614 资源：429 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
