半导体产业洁净室行业深度研究报告

洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。洁净室控制污染源的途径主要有3 种:1、控制污染源,减少污染发生量;2、迅速排出室内已经发生的污染;3、有效阻止室外的污染侵入。第1 点和第3 点都可以通过封闭性和化学设备等解决,而核心的第2 点则需要利用流体力学的物理原理。在流体力学中,按照运动要素流速、加速度等有无时间因素可以分为稳定流与不稳定流,按照流线形状可以分为渐变流和突变流,按照有无质点交换可以分为层流和紊流。 洁净室工程是生产辅助性工程,是高端制造不可或缺的一部分。洁净室工程的需求来源于准备建厂的业主,比如晶圆制造商、面板生产商等,洁净室建设完成之后再交付给业主,业主使