用激光刷涂半导体掩模母板 上传者：hncsstar 2021-03-25 17:39:15上传 PDF文件 563.31KB 热度 25次 用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2 mm宽的条,分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元仵的复杂几何图形。最后,由激光产生的数据印在母板上,成为放大铬-石英母板图形,用来制造掩模,生产各种芯片。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
