在曲面玻璃基板上沉积高反射率的硅基多层涂层

本文提出并初步实现一种提高等离子显示面板(PDP)出光率的多层层叠型反射膜,其中高折射率材料采用金属诱导取代,低折射率材料采用二氧化硅,并通过实验得到可见光平均反射反射80%的平面高反膜。实验中采用半圆管替代实际PDP中的障壁结构,并通过蒙特卡罗方法分析了粒子在磁控溅射中沉积到半圆管壁上的过程,得到模拟实验表明改善膜厚均匀性的主要途径是提高溅射气压。在0.7 Pa的气压下,溅射沉积的样品的反射反射率达到50%〜65%。