多模光声法评价异质外延金刚石层力学性能

开发了一种使用表面声波评估声学厚各向异性层的多模光声方法。 这样的层支持多种声学模式。 这使相反的问题变得复杂,但是另一方面,使得可以提取更多的材料特性。 基于两种表面声学模式,对由Ir / YSZ(氧化钇稳定的氧化锆)/ Si(001)上110微米厚的异质外延化学气相沉积金刚石层组成的层-基底系统的几种机械性能进行了评估。 在两个不同的晶体学方向上测量的分散和非分散模式用于评估三个弹性刚度系数C(11),C(12),C(44)和金刚石层的质量密度。 结果表明,采用从异质外延金刚石生长过程获得的分层系统,无需特殊的样品制备即可确定准确的弹性模量。