三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用

为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实现轴向焦点补偿最大距离0.4 mm,最小焦斑直径为3 μm。初步探讨了该系统在微电子行业的应用,进行了铜电极板、手机屏的切割实验以及位置敏感阳极探测器图形的制作,实验证明该系统可满足多种材料的精细加工要求。