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用斐索自聚焦光纤干涉仪测微区面形

上传者: 2021-03-12 01:19:02上传 PDF文件 1.88MB 热度 8次
采用LD泵浦的单纵模Nd:YVO4倍频激光器、自聚焦棒以及三维精密调整架构成斐索型干涉仪,它具有同时测量微区振动和面形的功能,着重给出了测量微区面形的实验结果和理论分析。
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