物面单反射镜波前分割三光束全息干涉计量研究

提出了一种用于分析物体三维位移场的全息干涉计量新方法。该方法将一个小平面反射镜贴于被测物体的表面,用三束呈空间分布的发散光波,在干版的三个不同区域或同一部位,记录被测物体的三个独立的双曝光干涉图。这些干涉图被由小平面反射镜运动造成的参考光虚点光源的位移所调制。基于对这种调制的理论分析,导出计算参考光虚点光源和被测物体三维位移的二个线性方程组。