火星探测用的三维MOEMS光束扫描成像系统

介绍了一种小型共焦成像仪,它由高性能的双轴硅转矩镜组成,转矩镜协同动态抛物面薄膜反射镜提供三维光束扫描.光束扫描驱动器置于探测火星岩石和土壤用的共焦拉曼光谱仪上,此光谱仪光学分辨率在850nm波长上为1μm,视场为300μm,焦距控制大于200μm.使用双轴扫描仪获得了快速平面扫描,同时抛物面薄膜镜为仪器提供静态和动态聚焦控制(z轴),其中也包括空间场及地表轮廓纠正.本文也描述了MOEM(微光机电)部件以及整体仪器结构,给出了采用转矩镜扫描器获得的原始图像,并且简述了动态聚焦部件的制备、模拟和主要实验表征.