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用磁控溅射技术制备氮化铝薄膜

上传者: 2021-03-02 01:13:36上传 PDF文件 921.27KB 热度 21次
报道了用磁控溅射制备氮化铝薄膜的工艺过程和实验结果.给出了氮化铝薄膜的光学常数与氩气、氮气压强之间的关系.结果表明,氮化铝薄膜的光学性质,很大程度上取决于氮气和氩气之间的压强比.
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