不同热处理的GeTe薄膜的光学参数测量

运用一种新的测量单面镀膜膜层光学参数的方法, 对不同热处理的GeTe半导体薄膜样品的光学参数进行了测量, 准确地获得了被测薄膜材料的光学参数, 并采用椭圆偏振光谱测量作比较研究。 以此为基础, 对用椭偏仪测得的数据进行拟合计算, 得出了样品材料在250~830 nm波段范围的复折射率曲线。