中心遮拦光学元件检测中调整误差的精确去除

分析了用干涉仪检测中心遮拦光学元件时仍采用圆泽尼克(Zernike)多项式表述相位和求解赛德尔像差的弊端,在环形域上,圆泽尼克多项式不再具有正交性和明确的物理意义。给出了环域泽尼克多项式的求解方式和表达形式,这些表达式具有和圆泽尼克同样的性质和意义。利用Zygo数字干涉仪对口径为300 mm,中心遮拦比为0.23的非球面进行了零位补偿检验,用编制的计算程序对其进行环域泽尼克多项式波面拟合,得到的前4项分布可以作为调整误差而消去,进而获得较准确的面形信息,从而为超精加工提供了依据。