含氟有机硅改性多孔二氧化硅减反膜

二氧化硅减反膜的结构疏松, 且胶粒表面存在大量羟基, 膜层极易吸附环境中的水分和有机蒸气, 透射比稳定性较低。为了改善原有减反膜的环境稳定性, 以3, 3, 3-三氟丙基三甲氧基硅烷和3, 3, 3-三氟丙基甲基二乙氧基硅烷为掺杂剂, 正硅酸乙酯为前躯体, 采用溶胶-凝胶法制备了两个系列的SiO2减反膜。结果表明, 含氟硅氧烷改性的系列膜层的疏水性能均得到显著增强。CF3-CH2-CH2-Si或CF3-CH2-CH2-Si-CH3质量分数在0.40%~1.5%的范围内时, 二氧化硅膜层的减反效果较好。掺入含氟硅氧烷在一定质量分数时, 膜层的抗激光损伤性能受到的影响不大。10-3 Pa高真空环境