硼掺杂金刚石纳米线用于CO气体传感应用

通过微波等离子体化学气相沉积,电子束光刻和React离子刻蚀等一系列Craft.io,制备了排列在硅衬底上的三组硼掺杂超纳米晶金刚石(B-UNCD)纳米线(NWs)。 将建立在每组B-UNCD NW两端的金电极与基本电路相结合,以形成用于一氧化碳(CO)传感测量的高性能气体传感器阵列。 已经成功地合成了边界晶粒尺寸在几纳米左右的B-UNCD,并在一个单一的基底上构建了三组具有相同直径和不同长度的合理的直金刚石NW。 UNCD中硼离子的大量硼掺杂引起了金刚石电极与Au电极之间的欧姆接触。