以功率约为30 kW,中心波长为3.8 μm,出光时间为1 s的连续DF化学激光器作为抽运源,在抽运光共轴近正入射于圆形反射镜条件下,利用夏克-哈特曼(Shack-Hartmann)波前传感器,对不同工艺条件下镀制的3.8/0.633 μm双波段多层膜强激光反射镜的热畸变量进行了检测。基于热传导方程和热弹方程,在考虑到空气折射率热效应基础上,利用有限元分析方法,完成了对不同反射镜热吸收的评价。结果表明,在目前最好的工艺参数控制条件下,所镀制的反射镜的热吸收率接近于80×10-6。从而在膜层材料及膜系设计结构均完全相同的前提下,达到了评价及优化膜系镀制工艺的目的。
