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X射线光电子能谱分析Si衬底上外延Tm“ 2O” 3高k介电薄膜的能带偏移

上传者: 2021-02-24 02:38:20上传 PDF文件 571.3KB 热度 8次
X射线光电子能谱分析Si衬底上外延Tm“ 2O” 3高k介电薄膜的能带偏移
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