液晶实时掩膜技术制作连续微光学元件

提出制作连续微光学元件的一种新技术――液晶实时掩膜技术,阐述了其基本原理和制作方法。基于部分相干光成像理论,采用计算机模拟了用实时掩膜制作微透镜和微轴锥镜阵列的过程。同时建立了实验装置进行实验,用全色银盐干板(Kodak 131)通过酶刻蚀得到口径为118.7 μm,深为1.322 μm的56×48的轴锥镜的列阵。