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激光化学气相淀积铁薄膜

上传者: 2021-02-23 19:04:26上传 PDF文件 1.04MB 热度 13次
用氯化氙准分子激光分解Fe(CO)5在石英片上沉积铁薄膜.研究了激光能量密度、淀积时间对膜层特性的影响,获得最大淀积速率1.7nm/脉冲
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