用光子显微镜无损检查晶片 上传者:追梦客 2021-02-23 17:48:33上传 PDF文件 605.85KB 热度 7次 日立制作所研制成“扫描光子显微镜”,其原理是:当光照射半导体晶片时,在有结晶缺陷、污染、损伤的部分所产生的表面光电压比正常部存的要低,利用这一现象在晶片上进行光斑扫描,以非接触方式读出各点产生的光电压变化,经数据处理后用与电压值相对应的浓淡图像显示。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 追梦客 资源:387 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com