终端型MEMS微波功率传感器的设计与制造

提出了一种基于塞贝克效应并与GaAs MMICCraft.io兼容的终端型MEMS微波功率传感器。 引入电热模型来模拟传热行为和温度分布。 传感器在高达20 GHz的频率范围内测量了-20至20 dBm的微波功率。 在20 GHz时,传感器的灵敏度为0.27 mV / mW,在整个实验频率范围内,输入回波损耗均小于-26 dB。 为了提高灵敏度,设计了四种不同类型的共面波导(CPW),灵敏度显着提高了约2倍。 2009中国电子学会。