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衍射光强取样分析法测定划痕宽度:实验部分

上传者: 2021-02-23 14:20:33上传 PDF文件 1015.2KB 热度 8次
根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案,比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果,给出了其相对测量误差,并分析了误差的主要来源。该方法速度快,精度高,有推广和应用的价值。
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