大口径平面镜局部采样瑞奇 康芒检验

为了提升大F数下瑞奇-康芒检验的面形恢复精度, 提出局部采样影响矩阵法, 对干涉仪采集到的压缩椭圆图样按各像素点实际入射角大小分别建立影响矩阵, 恢复像素点的面形偏差。通过该方法遍历整个平面镜镜面, 得到平面镜面形。利用仿真验证了局部采样影响矩阵法的精度并和传统影响矩阵法进行详细对比, 结果表明相较传统影响矩阵法, 局部采样影响矩阵法在离焦、像散、三级彗差、三级像散、三级球差等因素下的精度提升十分明显,证明局部采样影响矩阵法更适合瑞奇-康芒检验的面形恢复。