测量不确定度在干涉面形检测领域的研究现状及进展

评定测量不确定度是改进面形检测实验室质量的有效途径。为了促进测量不确定度在干涉面形检测领域的普及和应用,综述了近年来国内外在干涉面形检测领域中测量不确定度评估方法的研究现状和最新进展。介绍了量值溯源和测量不确定度的发展及研究现状,主要介绍了自下而上方法(即建模方法)评估测量不确定度和自上而下方法评估测量不确定度,重点阐述了干涉面形测量中的不确定度评估方法研究现状及进展。展望了现代干涉面形检测中不确定度评估的发展方向。