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微微秒激光退火获得的半导体表面衍射光栅

上传者: 2021-02-23 08:29:05上传 PDF文件 533.19KB 热度 10次
目前,使用微微秒脉宽的强脉冲激光辐射的离子注入层退火获有重要意义。这不仅取决于与激光退火的物理机理的暴露有关的问题(特别是,非热过程的作用),而且还取决于超短激光脉冲作用于半导体的实际应用新的可能性。
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