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用激光合金Ge薄膜在n GaAs上制作欧姆接触

上传者: 2021-02-23 01:03:47上传 PDF文件 1.37MB 热度 11次
Q开关Nd:YAG激光器已被用以使复盖蒸发Ge薄膜的n-GaAs上形成欧姆接触。这种接触显示了良好的表面形态,其接触电阻率低到10-6欧姆·厘米。
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