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表面粗糙度对软X射线多层膜光学特性的影响

上传者: 2021-02-22 05:22:11上传 PDF文件 931.94KB 热度 17次
从理论和实验结果两方面探讨了基底表面和多层膜膜面的均方根粗糙度对软X射线多层膜的光学特性的影响。 指出了分析表面粗糙度最合适的方法和对表面粗糙度的着重研究方向。
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