富勒烯作为过渡层生长金刚石薄膜研究 上传者：neekoon 2021-02-21 14:47:14上传 PDF文件 405.88KB 热度 28次 采用微波等离子体化学汽相淀积法,以C60膜为过渡层,在光滑的单晶Si衬底(100)表面和研磨的石英衬底表面等光学衬底上,首次在无衬底负偏压条件下生长出多晶金刚石薄膜,通过扫描电镜观察到生长膜晶粒呈莱花状,生长表面为金刚石(100)晶面。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
