垂直腔面发射激光器氧化孔结构对器件激射性能的影响

为实现894.6 nm低阈值、高稳定性、单模激光输出, 设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件, 研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响。研究结果表明: VCSEL台面直径越大, 阈值电流越大; 氧化孔径越偏向圆形, 边模抑制比越高。制备了氧化孔为圆形、直径为4.4 μm的VCSEL器件, 该器件在70~90 °C工作温度及0.6 mA驱动电流下实现了894.6 nm单模激光输出, 边模抑制比高于35 dB。