用激光促进化学蚀刻 上传者：李木又 2021-02-20 00:46:18上传 PDF文件 745.93KB 热度 23次 捷克科技人员用激光促进n型砷化镓和磷化铟的电化学腐蚀。他们用He-Ne激光,功率密度为1~10 W/cm2,波长632.8 nm,在一种氧化溶液里完成化学蚀刻。他们还研究了蚀刻速率根据激光功率密度、曝光时间、蚀刻溶液的成份而变化的情况。 下载地址 用户评论 更多下载
